本系列产品供科研院所、高等院校、工矿企业等单位用作半导体、贵金属、晶体等材料的区域加热烧结,区熔(提纯、晶体生长)等用途。是本公司自行研制开发的高性能新型特种电炉,产品结构新颖,操作简便,综合性能指标较高,处于国内领先水平。
本系列产品在各温度环境下,可以分别实现坩埚上升法、坩埚下降法等水平狭窄区域连续熔炼工艺及坩埚口或坩埚底固定区熔工艺等多种工艺,并可通简易气氛(氮气、氧气及惰性气体)。并采用多段可编程式温度控制器全过程自动控制温度,可进行周期作业式生产,是理想的新型实验与生产装备。.
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项目
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单位
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DMF系列晶体生长炉
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DMF-160-14型
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DMF-250-14型
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DMF-350-14型
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额定加热功率
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kW
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4
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5
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6
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电压/频率
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V/Hz
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220/50-60
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220/50-60
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220/50-60
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工作室尺寸
(宽*深*高) |
mm
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80*200*260
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80*250*350
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100*300*450
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工位升降行程
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mm
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160
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250
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350
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工位升降速度(可设)
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mm/24h
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1-100
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1-100
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1-100
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最高温度
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℃
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1450
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额定工作温度
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℃
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室温~1350
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空炉升温时间
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min
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<60
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<60
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<60
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温度均匀度
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℃
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≤±2
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≤±2
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≤±2
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温控波动度
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℃
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±1
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温控方式
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智能型程序模糊PID控制
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电炉外形尺寸
(长*宽*高) |
mm
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500*560*475
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500*560*600
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520*620*700
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外形尺寸
(长*宽*高) |
mm
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500*830*1800
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550*900*1980
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570*960*2150
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重量(毛重)
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kg
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800
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900
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1150
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